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发明名称 ROTATING CATHODE TARGET, ITS PRODUCTION AND FILM FORMED BY USING THIS TARGET
摘要
申请公布号 JPH0726373(A) 申请公布日期 1995.01.27
申请号 JP19930194208 申请日期 1993.07.09
申请人 ASAHI GLASS CO LTD 发明人 KIDA OTOJIRO;SUZUKI YOKO
分类号 C23C4/08;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C4/08
代理机构 代理人
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