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发明名称
摘要
申请公布号
JPH071134(B2)
申请公布日期
1995.01.11
申请号
JP19900314832
申请日期
1990.11.20
申请人
发明人
分类号
F25B1/00;F25B43/00;F25B45/00;H01L23/427;(IPC1-7):F25B45/00
主分类号
F25B1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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