激光烧蚀用的对称性扫描方法

摘要

本发明公开了一种通过烧蚀改变目的物表面的改进方法，其结果是能够减少烧蚀物残渣在目的物表面上的再沉积。

主权项

1、一种用于烧蚀目的物表面并能减少烧蚀物残渣积聚的方法，其特征在于包括同时将分束后的脉冲紫外辐射光束射在上述目的物表面上，并使这些光束彼此相对运动及使目的物表面运动，以使整个目的物表面都能被扫描。