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发明名称 Vacuum depositing apparatus.
摘要
申请公布号 EP0319347(B1) 申请公布日期 1994.08.03
申请号 EP19880311500 申请日期 1988.12.05
申请人 RESEARCH DEVELOPMENT CORPORATION OF JAPAN;HATTORI, SHINTAROU;TAKAHAGI, TAKAYUKI;ISHITANI, AKIRA 发明人 HATTORI, SHINTAROU 302 BELL-MAISON SAKAGUCHI;TAKAHAGI, TAKAYUKI;ISHITANI, AKIRA TORE RESEARCH CENTER
分类号 C23C14/12;C23C14/24;(IPC1-7):C23C14/24;C23C14/26 主分类号 C23C14/12
代理机构 代理人
主权项
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