发明名称 MANUFACTURE OF PASSIVE ELEMENT FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH06188366(A) 申请公布日期 1994.07.08
申请号 JP19920340037 申请日期 1992.12.21
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NISHITSUJI MITSURU
分类号 H01L21/3205;H01L21/822;H01L23/52;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04;H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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