| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR FORMING HARD CARBONACEOUS THIN FILM BY CHEMICAL VAPOR PHASE SYNTHESIS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06128747(A) |
申请公布日期 |
1994.05.10 |
| 申请号 |
JP19920301827 |
申请日期 |
1992.10.14 |
| 申请人 |
ASAHI DAIYAMONDO KOGYO KK |
发明人 |
OGINO NAOHIKO;MINAMI NAOHIRO |
| 分类号 |
C23C16/26;C23C16/27;C23C16/50;(IPC1-7):C23C16/26 |
主分类号 |
C23C16/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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