| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR EPITAXIAL SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05144751(A) |
申请公布日期 |
1993.06.11 |
| 申请号 |
JP19910334065 |
申请日期 |
1991.11.22 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
TAKIZAWA RITSUO;KANBE HIDEO;KUSAKA TAKAHISA;FUTAJIMA OSAMU;OHASHI MASANORI |
| 分类号 |
C23C16/46;C30B25/10;H01L21/205;H01L21/322 |
主分类号 |
C23C16/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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