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经营范围
发明名称
CLEANNESS MEASURING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05129262(A)
申请公布日期
1993.05.25
申请号
JP19910291299
申请日期
1991.11.07
申请人
ORC MFG CO LTD
发明人
SERIZAWA IZUMI;WATANUKI MINORU
分类号
G01N1/34;H01L21/304;H01L21/66
主分类号
G01N1/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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