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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05102471(A) 申请公布日期 1993.04.23
申请号 JP19910256747 申请日期 1991.10.03
申请人 SHARP CORP 发明人 UEDA TAKASHI
分类号 H01L29/78;H01L21/265;H01L21/30;H01L21/324 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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