发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04152630(A) 申请公布日期 1992.05.26
申请号 JP19900276499 申请日期 1990.10.17
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 KITAZAWA MASASHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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