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发明名称 DOUBLE-DOME REACTOR FOR SEMICONDUCTOR PROCESSING
摘要
申请公布号 US5108792(A) 申请公布日期 1992.04.28
申请号 US19900491416 申请日期 1990.03.09
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 ANDERSON, ROGER N.;MARTIN, JOHN G.;MEYER, DOUGLAS;WEST, DANIEL;BOWMAN, RUSSELL;ADAMS, DAVID V.
分类号 H01L21/203;C23C16/44;C23C16/48;C30B25/08;C30B25/10;C30B25/14;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/26;H01L21/324 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
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