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发明名称 ALIGNMENT METHOD
摘要
申请公布号 KR920003312(B1) 申请公布日期 1992.04.27
申请号 KR19880017368 申请日期 1988.12.23
申请人 TOSHIBA CORP. 发明人 TARUI, ACHUSI;URAYAMA, GAZHICO;KAMATA, YUTAKA
分类号 G01B11/00;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
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