发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03214667(A) 申请公布日期 1991.09.19
申请号 JP19900008232 申请日期 1990.01.19
申请人 HITACHI LTD 发明人 ONOZAWA KAZUNORI
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/10 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
地址