发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03124025(A) 申请公布日期 1991.05.27
申请号 JP19890261331 申请日期 1989.10.06
申请人 NEC CORP 发明人 HIROKAWA TOMOAKI
分类号 H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
地址