发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR ION ETCHING AND DEPOSITION
摘要
申请公布号 EP0353245(A4) 申请公布日期 1990.12.05
申请号 EP19880903671 申请日期 1988.03.18
申请人 UNIV NEW MEXICO 发明人 MCNEIL, JOHN, R;WILSON, SCOTT, R
分类号 B44C1/22;B05D3/06;C03C23/00;C23F4/00;H01J37/302;H01J37/305;H01L21/302;(IPC1-7):B44C1/22;C23C14/00 主分类号 B44C1/22
代理机构 代理人
主权项
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