摘要 |
<p>Die Erfindung bezieht sich auf eine mit einem zweistufigen Refrigerator (3) betriebene Kryopumpe, bei der mehrere, rechtecktförmige, mit Abstand parallel zueinander angeordnete Bleche (13, 14) die Pumpflächen (9) der zweiten Stufe (5) bilden; die Bleche (13, 14) erstrecken sich im wesentlichen parallel zur Ebene des Baffles (7) und weisen im Bereich ihrer längeren Seiten Abkantungen (18, 25) auf, die sich vom Baffle (7) weg erstrecken; die abgeschirmten, sich parallel zur Ebene des Baffles (7) erstreckenden Oberflächen der Bleche (13, 14) sind zumindest teilweise mit Adsorptionsmaterial (19) belegt; zumindest die dem Baffle (7) zugewandten Oberflächen der Abkantungen (18, 25) sind als Kondensationsflächen ausgebildet.</p> |