发明名称 Cryopump operating with a two-stage refrigerator.
摘要 <p>Die Erfindung bezieht sich auf eine mit einem zweistufigen Refrigerator (3) betriebene Kryopumpe, bei der mehrere, rechtecktförmige, mit Abstand parallel zueinander angeordnete Bleche (13, 14) die Pumpflächen (9) der zweiten Stufe (5) bilden; die Bleche (13, 14) erstrecken sich im wesentlichen parallel zur Ebene des Baffles (7) und weisen im Bereich ihrer längeren Seiten Abkantungen (18, 25) auf, die sich vom Baffle (7) weg erstrecken; die abgeschirmten, sich parallel zur Ebene des Baffles (7) erstreckenden Oberflächen der Bleche (13, 14) sind zumindest teilweise mit Adsorptionsmaterial (19) belegt; zumindest die dem Baffle (7) zugewandten Oberflächen der Abkantungen (18, 25) sind als Kondensationsflächen ausgebildet.</p>
申请公布号 EP0384922(A1) 申请公布日期 1990.09.05
申请号 EP19890103453 申请日期 1989.02.28
申请人 LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 HAEFNER, ULRICH, DR.
分类号 F04B37/08 主分类号 F04B37/08
代理机构 代理人
主权项
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