| 发明名称 |
SUBSTRATE FOR MANUFACTURE OF OXIDE SUPERCONDUCTOR THIN-FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02211679(A) |
申请公布日期 |
1990.08.22 |
| 申请号 |
JP19890031958 |
申请日期 |
1989.02.10 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD |
发明人 |
TAKEMURA YASUHIKO |
| 分类号 |
G02B27/00;C01B13/14;C01G1/00;H01B12/06;H01L39/02;H01L39/24 |
主分类号 |
G02B27/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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