发明名称 VAPOR DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0286125(A) 申请公布日期 1990.03.27
申请号 JP19880238083 申请日期 1988.09.21
申请人 SHARP CORP 发明人 KUWATA TORU
分类号 C23C14/24;C23C14/50;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/338;H01L29/812 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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