| 发明名称 |
FORMATION OF SMOOTH THIN ALUMINUM FILM ON SILICON SUBSTRATE AND RESULTING OPTICAL REFLECTING MIRROR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0238569(A) |
申请公布日期 |
1990.02.07 |
| 申请号 |
JP19880189177 |
申请日期 |
1988.07.28 |
| 申请人 |
ANELVA CORP |
发明人 |
HOSOKAWA NAOKICHI;KOBAYASHI TSUKASA;SEKIGUCHI ATSUSHI;TAKAGI SHINJI;ASAMAKI TATSUO |
| 分类号 |
G02B5/08;C23C16/20;H01L21/285 |
主分类号 |
G02B5/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
