发明名称
摘要
申请公布号 JPS5840333(B2) 申请公布日期 1983.09.05
申请号 JP19800003704 申请日期 1980.01.18
申请人 INTAANASHONARU BIJINESU MASHIINZU CORP 发明人 JEEMUZU EKONOMII;JEEMUZU RICHAADO RIARA;RESUTAA AARIN PEDAASUN
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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