发明名称 PATTERN MEASURING INSTRUMENT
摘要
申请公布号 JPH01147679(A) 申请公布日期 1989.06.09
申请号 JP19870306745 申请日期 1987.12.03
申请人 TOPCON CORP 发明人 FUKUMA YASUFUMI
分类号 G06T7/60 主分类号 G06T7/60
代理机构 代理人
主权项
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