发明名称 METHOD OF PRODUCING A HIGHLY INTEGRATED CIRCUIT OF MOS FIELD-EFFECT TRANSISTORS
摘要
申请公布号 DE3477097(D1) 申请公布日期 1989.04.13
申请号 DE19843477097 申请日期 1984.12.11
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN 发明人 SCHEIBE, ADOLF, DR., ING. DIPL.-PHYS.
分类号 H01L21/82;H01L27/08;(IPC1-7):H01L21/82;H01L29/60 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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