发明名称 PROCEDE DE FABRICATION D'ELEMENTS SEMI-CONDUCTEURS
摘要
申请公布号 FR2060339(A1) 申请公布日期 1971.06.18
申请号 FR19700031631 申请日期 1970.08.31
申请人 HITACHI LTD. 发明人
分类号 H01L21/60;H01L21/00;H01L21/18;H01L21/301;(IPC1-7):H01L7/00 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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