发明名称
摘要
申请公布号 JPS59119450(U) 申请公布日期 1984.08.11
申请号 JP19830011384U 申请日期 1983.01.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/30;G03F7/00;G03F7/30;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/00 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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