| 发明名称 |
BILDWIEDERGABESYSTEM FUER EIN ABTAST-ELEKTRONENMIKROSKOP |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3327497(A1) |
申请公布日期 |
1984.02.16 |
| 申请号 |
DE19833327497 |
申请日期 |
1983.07.29 |
| 申请人 |
HITACHI,LTD. |
发明人 |
TODOKORO,HIDEO;FUKUHARA,SATORU |
| 分类号 |
H01J37/22;G01R31/302;H01J37/24;H01J37/26;H01J37/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01J37/28 |
主分类号 |
H01J37/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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