| 发明名称 |
GASREGELEINRICHTUNG FUER EINE CHEMISCHE BEDAMPFUNGSANLAGE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3233094(A1) |
申请公布日期 |
1983.03.24 |
| 申请号 |
DE19823233094 |
申请日期 |
1982.09.07 |
| 申请人 |
THERMCO PRODUCTS CORP. |
发明人 |
C. GOLDMAN,JON;E. RAPPAPORT,ROBERT |
| 分类号 |
B01J3/04;B01J4/00;C23C16/52;F27D7/02;F27D19/00;G05D7/06;H01L21/31;(IPC1-7):C23C11/00;C30B33/00 |
主分类号 |
B01J3/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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