PROCEDIMIENTO DE FABRICACION DE DISPOSITIVOS DE CIRCUITOS INTEGRADOS A GRAN ESCALA

摘要

PROCEDIMIENTO DE FABRICACION DE DISPOSITIVOS DE CIRCUITOS INTEGRADOS A GRAN ESCALA. COMPRENDE LAS ETAPAS DE FORMAR UNA CAPA QUE HA DE SER MOLDEADA, DEPOSITAR UNA CAPA RESISTIVA POLIMERICA SOBRE LA CAPA A MODELAR; MODELAR LA CAPA RESISTIVA PARA DEFINIR CARACTERISTICAS EN LA MISMA; UTILIZAR LA CAPA RESISTIVA MODELADA COMO MASCARA, MORDENTAR EN SECO DICHA CAPA A MODELAR EN UNA ETAPA DE MORDENTADO ASISTIDO CON PLASMA.