| 发明名称 |
METHODS OF MAKING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUITS AND CIRCUITS MADE BY SUCH METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2009498(B) |
申请公布日期 |
1982.06.30 |
| 申请号 |
GB19780042879 |
申请日期 |
1978.11.02 |
| 申请人 |
SAFRONOV V E;KRUZHANOV J V;DUBININ V P;OVCHINNIKOV V S |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/265;H01L21/331;H01L21/761;H01L21/8222;H01L27/06;H01L29/73;(IPC1-7):H01L21/82 |
主分类号 |
H01L21/265 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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