发明名称 PROCESS FOR SILICON DOPING WITH ARSENIC
摘要
申请公布号 RO96012(B1) 申请公布日期 1988.11.13
申请号 RO19870128880 申请日期 1987.07.03
申请人 CENTRUL DE CERCETARI STIINTIFICE SI INGINERIE TEHNOLOGICA PENTRU COMPONENTE ELECTRONICE 发明人 BADILA MARIAN;ORFESCU CRISTIAN
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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