发明名称 PROCEDIMIENTO PARA LA FABRICACION DE DISPOSITIVOS MEDIANTE MORDENTADO CON PLASMA
摘要 <p>Procedimiento para la fabricación de dispositivos mediante mordentado con plasma que comprenden por lo menos una operación durante la cual el dispositivo en fabricación incluye una superficie de material que se ha de mordentar dentro de regiones selectivas, durante cuya operación el dispositivo o articulo en fabricación comprende una capa de elaboración superyacente con aberturas que corresponden en dichas regiones, según cuyo procedimiento el artículo se mantiene dentro de un ambiente de plasma contenido dentro de un aparato, siendo el plasma el resultado de la imposición de un campo eléctrico a través de una mezcla gaseosa entre dos electrodos.</p>
申请公布号 ES482958(A1) 申请公布日期 1980.03.01
申请号 ES19580004829 申请日期 1979.07.30
申请人 WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED 发明人
分类号 H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):01L21/70 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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