| 发明名称 |
VORRICHTUNG ZUR ERFASSUNG VON STRAHLPARAMETERN EINES PERIODISCH UEBER EINE ZIELFLAECHE GEFUEHRTEN, FOKUSSIERTEN LADUNGSTRAEGERSTRAHLS UND MESSVERFAHREN UNTER VERWENDUNG DER VORRICHTUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE2831602(A1) |
申请公布日期 |
1980.02.07 |
| 申请号 |
DE19782831602 |
申请日期 |
1978.07.19 |
| 申请人 |
LEYBOLD-HERAEUS GMBH |
发明人 |
STEPHAN,HERBERT,DR.-PHYS.;DIETRICH,WALTER,DR.-PHYS. |
| 分类号 |
G01T1/29;H01J37/305;H05B7/00;(IPC1-7):B23K15/00 |
主分类号 |
G01T1/29 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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