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发明名称 MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100659619(B1) 申请公布日期 2006.12.20
申请号 KR20040078182 申请日期 2004.10.01
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L29/417;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/78;H01L31/119 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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