发明名称 PROCEDE DE FABRICATION D'UN CIRCUIT INTEGRE COMPRENANT PLUSIEURS MOSFET
摘要 <P>La présente invention concerne un procédé de fabrication d'un circuit intégré comprenant plusieurs MOSFET. Ce procédé comprend les étapes suivantes : préparer un corps de matériau semi-conducteur 12 avec plusieurs sites 1, 2, 3, 4 de transistors; masquer sélectivement les second et quatrième groupes de sites; exposer le matériau semi-conducteur à une source d'ions; masquer sélectivement les premier et quatrième groupes de sites; exposer le matériau semi-conducteur à une source d'ions; et former un MOSFET dans chaque site, d'où il résulte que quatre types différents de MOSFET sont formés, correspondant chacun à des tensions de seuil différentes. </P><P>Application aux circuits intégrés.</P>
申请公布号 FR2398388(A1) 申请公布日期 1979.02.16
申请号 FR19780021184 申请日期 1978.07.17
申请人 MOSTEK CORP 发明人
分类号 H01L21/8236;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/088;H01L27/092;H01L29/78;H03K19/017;H03K19/08;H03K19/0944;(IPC1-7):01L27/04;03K19/08;01L21/70;03K19/40 主分类号 H01L21/8236
代理机构 代理人
主权项
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