| 发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS52155051(A) |
申请公布日期 |
1977.12.23 |
| 申请号 |
JP19760072366 |
申请日期 |
1976.06.18 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
HATADA KENZOU;KAJIWARA KOUSEI |
| 分类号 |
H01L21/60;H01L21/28;H01L21/288 |
主分类号 |
H01L21/60 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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