| 主权项 |
1.一个晶圆,包括: 一个第一模块积体于晶圆的第一部分;及一个第一监视器电路积体于晶圆第二部分,其中晶圆第二部分系与晶圆第一部分分开,第一监视器电路执行第一测试作业而确证第一模块的预期作业。2.如申请专利范围第1项之晶圆,其中该第一测试作业系测量由第一模块抽取的电流。3.如申请专利范围第1项之晶圆,其中该晶圆第二部分为晶圆的划线格。4.如申请专利范围第1项之晶圆,其中该晶圆第二部分为晶圆的可牺牲区。5.一种测试系统,包括:一个第一模块积体于晶圆的第一部分;一个监视器电路积体于晶圆第二部分,其中晶圆第二部分系与晶圆第一部分分开,该监视器电路执行第一测试作业而确证第一模块的规定作业;及一个测试装置,其系耦合至第一模块和耦合至监视器电路而选择性效能监视器电路执行测试作业而确证第一模块之规定作业。6.一种执行测试作业之方法,包括下列步骤:积体一个第一模块于晶圆的第一部分;积体一个监视器电路积体于晶圆第二部分,其中晶圆第二部分系与晶圆第一部分分开;及致能第一监视器电路执行第一测试作业而确证第一模块的预期作业。7.一种资料处理器,包括:控制装置,供提供模态控制信号指示资料处理器以第一和第二作业模态操作时间;及一个输出缓冲器耦合控制装置,供接收模态控制信号,而输出缓冲器接收已知作业电压,部分输出缓冲器于模态控制信号指示资料处理器于第一作业模态操作时提供一个信号给外部,而部分输出缓冲器于模态控制信号指示资料处理器于第二作业模态操作时去除已知之作业电压。8.如申请专利范围第7项之资料处理器,其又包括:第一复数个积体电路垫,该第一复数个积体电路垫用于第二作业模态,第一复数个积体电路垫于第二作业模态可被牺牲。9.一种测试资料处理器之方法,包括下列步骤:于输出缓冲器接收已知作业电压;提供一个模态控制信号指示资料处理器使用模态控制电路于第一作业模态和第二作业模态作业时间;致能部分输出缓冲器而于模态控制信号指示资料处理器于第一作业模态操作时提供一个信号给外部;及致能部分输出缓冲器而于模态控制信号指示资料处理器于第二作业模态操作时去除已知之作业电压。10.一个模块,包括:一个积体电路;一个电流监视器电路,其具有压控电流开关,电流监视器电路于确证积体电路的预期作业时执行测试作业第一测试作业;及一个激发源产生器,其施加一组测试信号至积体电路内部。图式简单说明:第一图以方块图形式示例说明根据本发明之一个具体例之测试系统;第二图以电路图形式示例说明根据本发明之一个具体例第一图测试系统的细节部分,该测试系统具有一个测试单元容纳于模块内和一个监视器单元位于模块外侧;第三图以方块图形式示例说明根据本发明之一个具体例之具有监视器容纳于划线格的晶圆之一部分;第四图以方块图形式示例说明根据本发明之一个具体例之静态电流划线格单元;第五图以方块图形式示例说明根据本发明之一个具体例之具有一个模块和一个监视器单元之晶圆;第六图以方块图形式示例说明根据本发明之一个具体例之具有测试组可用于静态测试之模块;第七图以方块图形式示例说明根据本发明之一个具体例之第六图模块具有一个监视器单元和逻辑电路供使用测试组的部分;第八图以方块图形式示例说明根据本发明之一个具体例之第七图之监视器单元;第九图以方块图形式示例说明根据本发明之一个具体例之第七图测试组部分;第十图以方块图形式示例说明根据本发明之一个具体例之测试系统,该测试系统合并一个测试模式产生器和一个反应分析器供测试如第七图之具有输入测试组和输出测试组的电路;第十一图以时序图形式示例说明根据本发明之一个具体例之用于分析静态电流的激发信号与监视器信号间之关系;第十二图以时序图形式示例说明根据本发明之一个具体例之于静态电流测试期间Vdd电压的衰减与维持;第十三图以方块图形式示例说明根据本发明之一个具体例执行静态电流测试之探针卡以及探针卡对正晶圆上的测试模块;及第十四图以方块图形式示例说明根据本发明之一个具体例之具有时序产生器的测试系统可供可变频率测试。 |
