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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09213813(A) 申请公布日期 1997.08.15
申请号 JP19960045400 申请日期 1996.02.06
申请人 SONY CORP 发明人 MORI GENICHIRO
分类号 H01L29/78;H01L21/8244;H01L27/11;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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