| 主权项 |
1.一种缓冲器装置,供与晶圆处理系统共用,包含;一I/O埠,用以装卸晶圆容器,每一者可容纳多个晶圆;一储存结构,供储存预定数目之晶圆容器;一容器埠,供在晶圆容器及处理系统间之晶圆转移其间,容纳至少一个晶圆容器;一容器转移机构,供转移该晶圆容器至及该I/O埠、该储存结构及该容器埠之间;及一晶圆转移机构,供转移晶圆至及在该容器埠之晶圆容器与处理系统之间。2.如申请专利范围第1项之缓冲器装置,其中该储存结构包含一或多个架子,每一者具有空间供储存一或多个晶圆容器。3.如申请专利范围第1项之缓冲器装置,其中该储存结构包含多个架子配置成一个在另一个之上,其中该储存结构系配置在该晶圆转移机构之上方。4.如申请专利范围第1项之缓冲器装置,其中该容器转移机构包含一容器夹子及一台座供移动该夹子至及在I/O埠及储存结构之间,及供移动该夹子至及在该储存结构及该容器埠之间。5.如申请专利范围第4项之缓冲器装置,其中该储存结构包括一或多个架子供储存该晶圆容器,每一架子可在一储存位置及伸出位置间移动供装卸该晶圆容器。6.如申请专利范围第5项之缓冲器装置,其中该夹子可在该I/O埠,该储存结构及该容器埠之间作二度空间移动。7.如申请专利范围第5项之缓冲器装置,其中该台座包括一水平导轨,其中该夹子被一沿该水平导轨移动之载体耦合至该水平导轨。8.如申请专利范围第7项之缓冲器装置,其中该夹子含一夹子框架,其具有键部向下伸出,及有一夹条由气动汽缸耦合至该框架,其中该气动汽缸将该夹条在未夹住位置及夹住位置之间致动,其中一晶圆容器被夹在该夹条及该键部之间。9.如申请专利范围第4项之缓冲器装置,其中该容器转移机构尚包含一可撤回臂部耦合在夹子及台座之间,其中该臂部将该夹子伸出至该储存结构供装卸该晶圆容器。10.如申请专利范围第1项之缓冲器装置,其中该容器埠包括第一及第二转移站供容纳该晶圆容器。11.如申请专利范围第10项之缓冲器装置,其中该处理系统包括第一及第二处理系统埠供转移晶圆至及自处理系统,其中该晶圆转移机构含第一晶圆转移机器人供转移晶圆至及在第一转移站与第一处理系统埠之间,及第二晶圆转移机器人供转移晶圆至及在该第二转移站与第二处理系统埠之间。12.如申请专利范围第11项之缓冲器装置,其中该晶圆转移机构尚包含一晶圆坞位于第一及第二晶圆转移机器人之间供转移晶圆至及在第一晶圆转移机器人及第二晶圆转移机器人之间,其中该晶圆转移机构可转移晶圆至及在第一转移站与第二处理系统埠之间,且能转移晶圆至及在第二转移站与第一处理系统埠之间。13.如申请专利范围第10项之缓冲器装置,其中该晶圆转移机构包含一晶圆转移机器人及机构,其供移动该晶圆转移机器人在第一转移站之晶圆容器中存取晶圆之第一位置,及在第二转移站之晶圆容器中之存取晶圆第二位置之间。14.如申请专利范围第13项之缓冲器装置,其中该处理系统包括第一及第二处理系统埠供装卸晶圆,其中该晶圆转移机器人在第一位置存取第一处理系统埠,及在第二位置存取第二处理系统埠。15.如申请专利范围第1项之缓冲器装置,其构型可转移晶圆至及自一离子植入器。16.如申请专利范围第1项之缓冲器装置,其中该处理系统包括第一及第二批负荷锁供装卸一批晶圆。17.如申请专利范围第1项之缓冲器装置,其中该处理系统包括第一及第二串列负荷锁供串列装卸晶圆。18.如申请专利范围第1项之缓冲器装置,其中该晶圆转移机构包括一晶圆转移机器人,用以一次转移一个晶圆至及在容器埠之晶圆容器与处理系统间。19.如申请专利范围第1项之缓冲器装置,其中该晶圆转移机构包含一晶圆转移机器人,用以一次转移二或多个晶圆至及在容器埠之晶圆容器与处理系统之间。20.如申请专利范围第19项之缓冲器装置,其中该晶圆转移机器人包括机构用以选择性转移第一号晶圆或第二号晶圆。21.如申请专利范围第1项之缓冲器装置,其尚包含一限定一晶圆处理区之包封,其中含该晶圆转移机构,及机构供造成通过晶圆处理区之向下空气流。22.如申请专利范围第1项之缓冲器装置,尚包含限定一容器处理区之包封,其将该储存结构、该容器埠及容器转移机构包围,及机构用以造成通过该容器处理区之向下空气流。23.如申请专利范围第1项之缓冲器装置,其构型可处理晶圆舱,让舱提供多个晶圆之包封,及包括一门以存取该多个晶圆。24.如申请专利范围第1项之缓冲器装置,其构型可处理晶圆卡匣。25.如申请专利范围第1项之缓冲器装置,其中该I/O埠包括机构供一次装卸二个晶圆容器。26.如申请专利范围第1项之缓冲器装置,其中该I/O埠包括一架子以容纳一或多个晶圆容器,该架子可在一包封内之撤回位置及一伸出位置之间移动以装卸晶圆容器,该I/O埠尚包含一可撤回门,其在架子为伸出位置时开启且在架子在撤回位置时关闭。27.如申请专利范围第10项之缓冲器装置,其中该处理系统包括第一及第二处理系统埠供转移晶圆至及自处理系统,其中该晶圆处理机构包含单一晶圆转移机器人供转移晶圆至及在第一及第二转移站与第一及第二处理系统埠之间。28.如申请专利范围第27项之缓冲器装置,其中该第一及第二转移站与第一及第二处理系统埠均面向晶圆转移机器人。29.一种缓冲器装置,供与晶圆处理系统共用,包含;一I/O埠,供装卸晶圆容器,每一者容纳多个晶圆;一储存结构,供储存预定数目之该晶圆容器;第一及第二转移站,供分别容纳第一及第二晶圆容器;一容器转移机构,供转移该晶圆容器至及在I/O埠与储存结构之间,及转移该晶圆容器至及在储存结构与第一、第二转移站之间;及一晶圆转移机构,供转移晶圆至及分别在第一及第二转移站之第一、第二晶圆容器及处理系统之间。30.如申请专利范围第29项之缓冲器装置,其中该容器转移机构包含一容器夹子及一台座供移动该夹子至及在I/O埠及储存结构之间,及供移动该夹子至及在储存结构与第一、第二转移站之间。31.如申请专利范围第30项之缓冲器装置,其中该储存结构包括一或多个架子供储存该晶圆容器,每一架子可在储存位置及伸出位置间移动以装卸晶圆容器。32.如申请专利范围第30项之缓冲器装置,其中该容器转移机构尚包含可撤回臂耦合在该夹子与该台座之间,其中该臂将该夹子伸出至该储存结构供装卸晶圆容器。33.如申请专利范围第29项之缓冲器装置,其中该处理系统包括第一及第二处理系统埠以转移晶圆至及自处理系统,其中该晶圆转移机构包含第一晶圆转移机器人以在第一转移站及第一处理系统埠间转移晶圆,及第二晶圆转移机器人以在第二转移站及第二处理系统埠间转移晶圆。34.如申请专利范围第33项之缓冲器装置,其中该晶圆转移机构尚包含一晶圆坞位于第一及第二晶圆转移机器人之间,供至及在第一晶圆转移机器人及第二晶圆转移机器人之间转移晶圆,其中该晶圆转移机构可转移晶圆至及在第一转移站与第二处理系统埠之间,且可转移晶圆至及在第二转移站与第一处理系统埠之间。35.如申请专利范围第29项之缓冲器装置,其中该晶圆转移机构包含一晶圆转移机器人及机构,供移动该晶圆转移机器人于用以存取在第一转移站之晶圆容器中之晶圆之第一位置,与用以在第二转移站之晶圆容器中存取晶圆之第二位置之间。36.如申请专利范围第29项之缓冲器装置,其中该晶圆转移机构包括一晶圆转移机器人,用以一次转移一个晶圆至及在一转移站与处理系统之间。37.如申请专利范围第29项之缓冲器装置,其中该晶圆转移机构包含一晶圆转移机器人供一次转移二或多个晶圆至及在转移站之晶圆容器与处理系统之间。图式简单说明:第一图为本发明之晶圆缓冲器之功能方块图;第二图为本发明晶圆缓冲器之一例之正面图;第三图为第二图之晶圆缓冲器之剖面顶视图;第四图为第二图之晶圆缓冲器之剖面侧视图;第五图为一说明晶圆转移机构之另一实施例之略图;第六图为流程图说明单一晶圆容器之晶圆缓冲器之操作;第七图为一晶圆舱夹子之一例之正面图,部份为剖面;第八图为本发明之晶圆缓冲器之第二个具体实例之顶视图。 |
