Quarzglasrohr als Halbzeug für die Vorform- und Faserherstellung, dessen Verwendung sowie Verfahren zur Herstellung des Quarzglasrohres

摘要

Um ein bekanntes Verfahren zur Herstellung eines Quarzglasrohres als Halbzeug für die Herstellung optischer Fasern, das eine innere, mit Fluor dotierte Quarzglas-Schicht und eine äußere Quarzglas-Schicht aufweist im Hinblick auf kostengünstigere Herstellung und bessere Maßhaltigkeit des Quarzglasrohres zu verbessern, wird erfindungsgemäß vorgeschlaem ersten Plasma-Abscheideprozess unter Bildung einer Innenschicht mit einer Wandstärke von mindestens 1,5 mm erzeugt wird, wobei im Quarzglas ein Fluorgehalt von mindestens 1,5 Gew.-% eingestellt wird, und dass das Quarzglas der äußeren Schicht in einem zweiten Plasma-Abscheideprozess erzeugt und mittelbar oder unmittelbar auf der Innenschicht unter Bildung eines Verbundrohres abgeschieden wird, und dass das Verbundrohr zu dem Quarzglasrohr elongiert wird.