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发明名称 Method for the formation of a silicon oxide film
摘要
申请公布号 EP0606588(B1) 申请公布日期 1996.10.09
申请号 EP19930119777 申请日期 1993.12.08
申请人 DOW CORNING TORAY SILICONE CO., LTD. 发明人 MINE, KATSUTOSHI;NAKAMURA, TAKASHI;SASAKI, MOTOSHI
分类号 C09D183/05;H01L21/316;C03C17/27;C04B41/50;C04B41/87;C23C18/12;H01L21/312;(IPC1-7):C23C18/12 主分类号 C09D183/05
代理机构 代理人
主权项
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