移载基板的装置及其方法

主权项

一种用以从一容器内撤出基板并移载所述基板的装置，所述装置包括：多个刀片，在移载过程中，所述基板分别放置在所述刀片上；多个撤出件，分别安装在所述刀片的一端，当所述基板从所述容器撤出时，所述撤出件从所述刀片向上突出，其中所述撤出件具有一中空形状而界定一空腔，且被安装以在一耦接孔内上升和下降，所述耦接孔形成于所述刀片的一端；以及一驱动单元，用以选择地使所述撤出件从所述刀片突出。