| 摘要 |
본 발명은 반도체소자 검사장치로 사용되는 프로브카드의 프로브핀에 관한 것이다. 상기 프로브핀의 상부프로브핀 접합부와 하부프로브핀 접합부에는 상기 접합부가 중간기판부재나 회로기판블록에 배설된 통전패드랜드에 접촉시 접합부가 통전패드랜드에서 이탈 방지하는 이탈방지부 형상을 상기 접합부에 형성하여 반도체칩의 다양한 통전전극패드에 요구되는 칩압으로 검사 할 수 있도록 프로브핀 빔부 길이을 조절할 수 있어 상기 빔부 길이에 따라 빔부와 지지부에 응력완화부와 접합부에 이탈방지부 형상을 형성하여 요구되는 침압으로 반도체칩의 다양한 통전전극패드을 검사할 수 있는 것이다. |
