表面检查装置

摘要

本实用新型提供一种表面检查装置，具备：光源，发出检查用的光；能够旋转的旋转筒体，具备内侧筒状构件、以覆盖内侧筒状构件的方式配置的外侧筒状构件、以及在内侧筒状构件与外侧筒状构件之间沿着同心圆上筒状地配置的多个光纤，该旋转筒体具有将来自光源的光从基端部向前端部引导的光路空间；第一反射镜，配置于旋转筒体的前端部，使来自光源的光照射到被检查体表面，并且使来自被检查体的反射光入射到光纤前端的受光部；以及第二反射镜，设置于供来自光源的光通过的光路上，使来自光源的光通过，并且使经由光纤被传输到旋转筒体的基端部的反射光以导向光电转换单元的方式反射。

主权项

一种表面检查装置，其特征在于，具备：光源，发出检查用的光；能够旋转的旋转筒体，具备内侧筒状构件、以覆盖所述内侧筒状构件的方式配置的外侧筒状构件、以及在所述内侧筒状构件与所述外侧筒状构件之间沿着同心圆上筒状地配置的多个光纤，该旋转筒体具有将来自所述光源的光从基端部向前端部引导的光路空间；第一反射镜，配置于所述旋转筒体的所述前端部，使来自所述光源的光照射到被检查体表面，并且使来自该被检查体的反射光入射到所述光纤前端的受光部；以及第二反射镜，设置于供来自所述光源的光通过的光路上，使来自所述光源的光通过，并且使经由所述光纤被传输到所述旋转筒体的基端部的所述反射光以导向光电转换单元的方式反射。