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发明名称
電極の製造方法
摘要
焼成温度が低くても、導電性を阻害しない程度の有機物残渣が少なく、耐熱性の低い基板等に適用でき、更に、TFT等の電極にも好適に利用できる電極の製造方法を提供する。本発明は、金属ナノ粒子を主成分とする導電性インクを印刷又は塗布することにより焼成前被膜を形成する第一工程と、前記焼成前被膜を焼成して導電性被膜を形成する第二工程と、前記導電性被膜の少なくとも一部に酸性溶液を接触させて洗浄する第三工程と、を含むことを特徴とする電極の製造方法である。
申请公布号
JP6053246(B1)
申请公布日期
2016.12.27
申请号
JP20160546110
申请日期
2016.07.08
申请人
バンドー化学株式会社
发明人
外村 卓也
分类号
H01L21/288;C09D11/52;H01L21/336;H01L29/786
主分类号
H01L21/288
代理机构
代理人
主权项
地址
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