发明名称 VAPOR DEPOSITION ON ELECTROSTATICALLY TENSIONED FOIL
摘要
申请公布号 US3924563(A) 申请公布日期 1975.12.09
申请号 US19740431851 申请日期 1974.01.09
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 KESSLER, HARTMUT;KRAUS, HUBERT
分类号 C23C14/14;C23C14/06;C23C14/20;C23C14/56;H01G4/18;(IPC1-7):C23C13/08 主分类号 C23C14/14
代理机构 代理人
主权项
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