发明名称 电浆放电装置
摘要 本发明揭露一种电浆放电装置,至少包括一外电极、一隔板、一绝缘体层以及一放电电极。外电极为一管状,而隔板系置于外电极之截面上,可将外电极之腔室分为一第一腔室与一第二腔室,其中隔板在其中心具有一孔洞。绝缘体层覆盖于外电极之内壁及隔板之表面上。放电电极则置于第一腔室中,可射出一电浆柱通过隔板的中心孔洞与第二腔室,至外电极之末端开口。覆盖绝缘体层后之隔板孔洞的内径与覆盖绝缘体层后之外电极的内径的比值约介于0.01至0.99之间。
申请公布号 TWI249176 申请公布日期 2006.02.11
申请号 TW093119141 申请日期 2004.06.29
申请人 馗鼎奈米科技股份有限公司 发明人 徐逸明;王亮钧;李志勇;陈彦政;陈俊钦;李家欣;王俊尧;梁国超
分类号 H01J15/00 主分类号 H01J15/00
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼
主权项 1.一种电浆放电装置,适用于接近一大气压或高于 一大气压之压力范围,该电浆放电装置至少包括: 一外电极,该外电极系为管状; 一隔板置于该外电极之截面上,可将该外电极之内 部分为一第一腔室与一第二腔室,其中该隔板具有 一孔洞; 一绝缘体层覆盖于该外电极之内壁及该隔板之表 面;以及 一放电电极置于该第一腔室中,可射出一电浆柱通 过该孔洞与该第二腔室,至位于该第二腔室之一开 口。 2.如申请专利范围第1项所述之电浆放电装置,其中 该开口端之该外电极内缩。 3.如申请专利范围第1项所述之电浆放电装置,其中 该第一腔室更包括一平板,具有复数个输入口,可 输入气体。 4.如申请专利范围第1项所述之电浆放电装置,其中 覆盖该绝缘体层后之该孔洞的内径与覆盖该绝缘 体层后之该外电极的内径的比値约介于0.01至0.99 之间。 5.如申请专利范围第1项所述之电浆放电装置,其中 该隔板的材质可与该外电极的材质相同。 6.如申请专利范围第1项所述之电浆放电装置,其中 该隔板的材质可与该绝缘体层的材质相同。 7.如申请专利范围第1项所述之电浆放电装置,其中 该隔板与该外电极连结处厚度较厚。 8.一种电浆放电装置之外电极结构,至少包括: 一导体管体; 一隔板置于该导体管体之截面上,可将该导体管体 之内部分为一第一腔室与一第二腔室,其中该隔板 具有一孔洞;以及 一绝缘体层覆盖于该导体管体之内壁及该隔板之 表面; 其中,该导体管体适用于将一放电电极置于该第一 腔室中,可射出一电浆柱通过该孔洞与该第二腔室 ,至位于该第二腔室之一开口。 9.如申请专利范围第8项所述之电浆放电装置之外 电极结构,其中该开口端之该导体管体内缩。 10.如申请专利范围第8项所述之电浆放电装置之外 电极结构,其中该第一腔室更包括一平板,具有复 数个输入口,可输入气体。 11.如申请专利范围第8项所述之电浆放电装置之外 电极结构,其中覆盖该绝缘体层后之该孔洞的内径 与覆盖该绝缘体层后之该导体管体的内径的比値 约介于0.01至0.99之间。 12.如申请专利范围第8项所述之电浆放电装置之外 电极结构,其中该隔板的材质可与该导体管体的材 质相同。 13.如申请专利范围第8项所述之电浆放电装置之外 电极结构,其中该隔板的材质可与该绝缘体层的材 质相同。 14.如申请专利范围第8项所述之电浆放电装置之外 电极结构,其中该隔板与该导电管体连结处厚度较 厚。 图式简单说明: 第1图系绘示习知之电浆放电装置示意图。 第2图系绘示根据本发明之一实施例之电浆放电装 置示意图。
地址 台南县永康市亚太工业区中正路279巷21弄59号
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