Es ist ein Gassensor 5 mit einem Sensorelement 10, einer Messkammer 15 und einem Strahlerelement 20 gezeigt. Das Sensorelement 10 weist eine MEMS-Membran 25 auf, die in einem ersten Substratbereich 40 angeordnet ist. Die Messkammer 15 ist ferner ausgebildet, ein Messgas 50 aufzunehmen.
申请公布号
DE102016205024(A1)
申请公布日期
2016.09.29
申请号
DE201610205024
申请日期
2016.03.24
申请人
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.;Infineon Technologies AG
发明人
Dehe, Alfons;Huber, Jochen;Jost, Franz;Kolb, Stefan;Theuss, Horst;Wiedmeier, Wilhelm;Wöllenstein, Jürgen
