发明名称 制造LCD之多重隙缝彩色滤光片之方法
摘要 本方法包含将红、蓝和绿色(R、G、B)像素图案化之方法,涂上一透明正光阻在彩色像素上。第一次曝光利用开口对准红色像素(R)之光罩加以照射而完成。接着,光罩移到开口对准绿色像素(G)的位置。按着,对正光阻执行第二次曝光。类似地,光罩也移到开口对齐蓝色像素之位置。接着,利用光罩对正光阻加以曝光。正光阻可由控制照光之强度、曝光时间或两者结合方式而加以曝光。然后正光阻以传统方式显影。结果,形成一具有多重隙缝之彩色滤光片。
申请公布号 TW475084 申请公布日期 2002.02.01
申请号 TW087113154 申请日期 1998.08.07
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 丁岱良;卢勇宏
分类号 G02F1/13 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项 1.一种制造LCD之多重隙缝彩色滤光片之方法,该方法至少包含:将玻璃底材上的红、绿、蓝彩色像素图案化;形成一光阻层在该彩色像素上;用三种不同的照光强度之将该光阻曝光,即红、绿、蓝像素上的光阻曝光强度不同;且将该光阻显影,以形成该像素上的多层结构。2.如申请专利范围第1项之方法,其中上述之红色像素上的该光阻以相对値最高的照光强度曝光,上述之蓝色像素上的该光阻以相对値最低的照光强度曝光,上述之绿色像素上的该光阻以介于该红、绿像素中间値的照光强度曝光。3.一种制造LCD之多重隙缝彩色滤光片之方法,该方法至少包含:将玻璃底材上的红、绿、蓝彩色像素图案化;形成一光阻层在该彩色像素上;用三种不同的曝光时间将该光阻曝光,使红、绿、蓝像素上的光阻曝光时间不同;且将该光阻显影,以形成像素上的多层结构。4.如申请专利范围第3项之方法,其中上述之红色像素上的该光阻以相对最长的时间曝光,上述之蓝色像素上的光阻以相对値最短的时间曝光,上述之绿色像素上的光阻以介于红、绿像素中间値的时间曝光。5.一种制造LCD之多重隙缝彩色滤光片之方法,该方法至少包含:将玻璃底材上的红、绿、蓝彩色像素图案化;形成一光阻层在该彩色像素上;用三种不同的照光强度和曝光时间将该光阻曝光,使该彩色像素上的光阻显影后具有多层结构。6.如申请专利范围第5项之方法,其中上述之红色像素上的光阻以相对値最高的照光强度曝光,上述之蓝色像素上的光阻以相对値最低的照光强度曝光,上述之绿色像素上的光阻以介于红、绿像素中间値的照光强度曝光。7.如申请专利范围第5项之方法,其中上述之红色像素上的光阻以相对最长的时间曝光,上述之蓝色像素上的光阻以相对値最短的时间曝光,上述之绿色像素上的光阻以介于该红、绿像素中间値的时间曝光。8.一种制造LCD之多重隙缝彩色滤光片之方法,该方法至少包含:将玻璃底材上的红、绿、蓝彩色像素图案化;形成一光阻层在上述彩色像素上;将该红色像素上光阻的部份以第一种照光强度进行第一次曝光;将该绿色像素上光阻的部份以第二种照光强度进行第二次曝光;将该蓝色像素上光阻的部份以第三种照光强度进行第三次曝光;上述三种照光强度之数値大小依序为第一种大于第二种,第二种大于第三种;将该光阻显影后得到一多层结构。9.一种制造LCD之多重隙缝彩色滤光片之方法,该方法至少包含:将玻璃底材上的红、绿、蓝彩色像素图案化;形成一光阻层在该彩色像素上;将该红色像素上光阻的部份以第一种照光强度进行第一次曝光;将该绿色像素上光阻的部份以第二种照光强度进行第二次曝光;将该蓝色像素上光阻的部份以第三种照光强度进行第三次曝光;上述三种照光强度之数値大小依序为第一种大于第二种,第二种大于第三种;将该光阻显影后得到一多层结构;形成一氧化铟锡膜(ITO)于该具有多层结构之该光阻层上。10.一种制造LCD之多重隙缝彩色滤光片之方法,该方法至少包含:将玻璃底材上的红、绿、蓝彩色像素图案化;形成一光阻层在上述彩色像素上;将该红色像素上光阻的部份以第一种曝光时间进行第一次曝光;将该绿色像素上光阻的部份以第二种曝光时间进行第二次曝光;将该蓝色像素上光阻的部份以第三种曝光时间进行第三次曝光;上述三种曝光时间之长短依序为第一种大于第二种,第二种大于第三种;将该光阻显影后得到一多层结构。11.一种形成液晶显示器之彩色滤光片的方法,该方法至少包含:将玻璃底材上的红、绿、蓝彩色像素图案化;形成一光阻层在该彩色像素上;将该红色像素上光阻的部份以第一种曝光时间进行第一次曝光;将该绿色像素上光阻的部份以第二种曝光时间进行第二次曝光;将该蓝色像素上光阻的部份以第三种曝光时间进行第三次曝光;上述三种曝光时间之长短依序为第一种大于第二种,第二种大于第三种;将该光阻显影后得到一多层结构;形成一氧化铟锡膜(ITO)于该具有多层结构之该光阻层上。图式简单说明:第一图为液晶显示器之截面图。例举了依照习知技术之彩色滤波平板之结构。第二图为彩色滤光片之截面图,例举了依照本发明来形成彩色像素之步骤。第三图为彩色滤光片之截面图,例举了依照本发明来进行第一次曝光。第四图为彩色滤光片之截面图,例举了依照本发明来进行第二次曝光。第五图为彩色滤光片之截面图,例举了依照本发明来进行第三次曝光。第六图为彩色滤光片之截面图,例举了依照本发明来进行显影之步骤。第七图为彩色滤光片之截面图,例举了依照本发明的最后结构。
地址 新竹县竹东镇中兴路四段一九五号