| 摘要 |
기판 스테이지 장치 (20) 는, X 축 및 Y 축을 포함하는 평면 내를 따라 이동 가능한 기판 홀더 (34) 와, Y 축 방향을 따라 기판 홀더에 동기하여 이동 가능한 헤드 유닛 (60) 과, 스케일 (52) 이 기판 홀더에 형성됨과 함께 헤드 (66x, 66y) 가 헤드 유닛에 형성되고, 상기 헤드의 출력에 기초하여 X 축 및 Y 축 방향에 관한 기판 홀더의 위치 정보를 구하는 기판 위치 계측용 인코더 시스템과, 헤드 유닛의 Y 축 방향에 관한 위치 정보를 구하는 헤드 유닛 위치 계측용 인코더 시스템과, 상기 기판 위치 계측용 인코더 시스템 및 헤드 유닛 위치 계측용 인코더 시스템의 출력에 기초하여, 기판 홀더의 XY 평면 내의 위치 제어를 실시하는 위치 제어계를 구비한다. |
