| 摘要 |
【課題】異物を捕集する機能を有する熱交換器を備えるレーザ発振器を提供する。【解決手段】レーザ発振器１は、媒質ガスを冷却する熱交換器１３を備える。熱交換器１３は、媒質ガスと冷却媒体との熱交換を行う冷却部２２と、枠体２１に固定された筒状部材２３と、異物捕集容器２４とを含む。筒状部材２３は、冷却部２２から流出した媒質ガスが、筒状部材２３の外面に沿って移動した後に進行する向きを変えて入口部２３ａに流入するように配置されている。異物捕集容器２４は、媒質ガスの流れから脱離する異物を捕集する。【選択図】図２ |
