多層膜反射鏡、多層膜反射鏡の製造方法、投影光学系、露光装置、デバイスの製造方法

摘要

高機能でありながらシンプルな構成の多層膜反射鏡を提供するために、本発明の多層膜反射鏡の一例は、基板側から順に、第１等周期多層膜と、調整層と、第２等周期多層膜とを有した多層膜反射鏡であって、下記（ａ）〜（ｃ）の組み合わせが反射面内の位置毎又は領域毎に設定されている。（ａ）前記第１等周期多層膜が単体で有する反射特性、（ｂ）前記第２等周期多層膜が単体で有する反射特性、（ｃ）前記調整層の膜厚。